气动执行元件
Cv值0.6
孔口尺寸5.8mm
最大工作压力（G.）真空至150 psig（10bar）
工作压力（G.）60~100 psig（4.1~7bar）
爆破压力（G.）3200 psig（220bar）
最高工作温度-10~150℉ ( -23 ~ 65℃)
内漏裕量
试验压力≤1 x 10-2托≤1 x 10-9自动取款机˙ 立方厘米/秒
外漏裕量
试验压力≤1 x 10-2托≤1 x 10-9自动取款机˙ 立方厘米/秒
颗粒检验（BA、EP）
压力：60~80psi氮气
样品体积：1CFM
0.1㎛ 更大的不算
【商家简介】韩国TK-FUJIKIN阀门株式会社以韩国家成功开发半导体及FPD生产线中所需的超洁净Fitting为开端，将现在为止全部依赖于外国进口的Valve、Regulator、Gas Filter、Gas Stick、Gas Panel及IGS（模组化气体供应系统）等产品群陆续地成功实现国产化开发，在半导体专用高纯气体管道配件材料领域的市场占有率中始终保持独占鳌头的位。已完成用于一般产业的Compression Fitting、Valve及Canister(Bubbler Type) 等产品群的开发，构建了关于...
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