HORIBA反应器3200082779

HORIBA反应器REACTOR V

HORIBA通过遍布全球的运营公司，提供面向多个行业的广泛的仪器和系统，其中包括汽车研发、过程和环境监测、体外医疗诊断、半导体生产与计量以及多种科学研发与质控测量。HORIBA出类拔萃的质量和值得信赖的性能，赢得了客户的广泛的信赖。

我们在“新奇 有趣”这个别具一格的企业哲学的指引下，通过提供科学进步所需的产品，履行我们的社会责任——尤其是在保护健康、安全和环境方面。遍布全球每个角落的“HORIBA人”，期待着与您合作，为您提供满足需求的最佳分析解决方案。

HORIBA提供多种自动注入装置，安全、可靠的传输液体到任何端点。针对半导体工艺挑剔的要求，HORIB提供的产品中需要接触液体的零部件全部采用不锈钢材料，以达到高性能的表现效果。HORIBA的直接注入式汽化器可传输TEOS、TEB、TEPO。针对光刻、扩散工艺中用到的强腐蚀性材料，FDM系统选用抗腐蚀非金属材料，保证工艺系统的寿命及安全。FDM可传输液体PCL3或BBr3至HORIBA先进的温度补偿鼓泡装置装置VM系列。

HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。

規格

1.提高产能

VM系列（汽化传输系统）无需使用传统的石英鼓泡器更换，实现最小化停机时间，有效提供产能。

2.减少运营成本

FDM系列可减少POCL3消耗：每公斤可降低30%的价格

依赖于持续工作，实现超过99.8%的正常运营时间

减少POCL3浪费

更长的寿命，更低的维护成本，系统内部工艺流程无需暴露于周围环境

3.提高工艺稳定

VM系列始终将液位保持”High”状态，使整个工艺流程相比较石英鼓泡系统更为稳定

由于鼓泡装置的持续注入，液位将不会受到影响

无鼓泡装置需更换，避免操作失误

无环境温度的影响

薄层电阻相较于传统鼓泡装置更为稳定，再现性更出色

4.提升安全性

无石英材料。VM系列将由PFD材质构建。相较于石英材料，PFD更为坚固，无需替换

无需定期更换parts，减少人工操作失误

POCL3将从20L的不锈钢瓶传输控制至PFA管路

坚固、无泄漏的鼓泡外壳与厂务端链接排气

集成液体泄漏，气体泄漏监测装置

湿线清理与泄漏自动监测

5.提高可靠性

POCL3是一款亲水性强可产生磷酸导致腐蚀或结晶的液体。常规的鼓泡系统需要定期更换会导致提升与空气接触的可能性。HORIBA POCL3的自动注入系统不需要定期更换鼓泡系统，有效降低了POCL3管道与空气接触的可能性。

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