上海洪柯自动化仪表有限公司推出的D系列气体质量流量计(Mass flow meter,简称MFM)/气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,简称MFC)用于测量/控制微小流量气体流量。微流量气体流量计/控制器zui小量程为0-2SCCM(标准毫升每分钟),气体质量流量计&控制器zui大量程为0-2000SLM(标准升每分钟),具有精度高、重复性好、量程宽、稳定可靠等特点,在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器,也可以用在各类实验室作为流量检验的标准流量计。
D500系列气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表(可定做分体式耐高温100℃的气体质量流量计/控制器)
D500系列气体质量流量计/气体质量流量控制器由气体质量流量传感器(气体质量流量控制器还包括电磁调节阀)、信号线电源线、气体质量流量显示仪(气体质量流量显示控制仪)等构成。
D600系列数字式一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表
D600系列一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器是我公司zui新推出的数字化流量计产品。它采用单电源供电(6~16VDC或24VDC),一体化液晶显示瞬时流量、累积流量,对于气体质量流量控制器,更是集成了电磁调节阀,可以直接在液晶面板上设定控制瞬时流量,也可以直接连电脑显示控制;数字,模拟输入输出;具有多气体多量程,高精度等特点。